有機發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)作為一種新興顯示技術(shù)，具有器件輕薄、可視角度大、柔性顯示、節省電能等優(yōu)勢，已廣泛應用于各個(gè)領(lǐng)域。矽碁科技具有豐富的OLED系統集成經(jīng)驗，可根據客戶(hù)需求，集成各類(lèi)工藝腔體，為客戶(hù)量身打造OLED技術(shù)開(kāi)發(fā)設備。矽碁提供兩種OLED設備架構：
Cluster架構：傳輸腔體連接各工藝腔體，機械手臂傳片，全自動(dòng)控制，可連續生產(chǎn)
In-line架構：手套箱串接各工藝腔體，手動(dòng)傳片，架構靈活，拓展性強，性?xún)r(jià)比高
矽碁科技擁有超過(guò)10年的OLED Cluster設備制造的經(jīng)驗，同時(shí)與學(xué)術(shù)和工業(yè)界都有非常密切的的合作。矽碁科技還與中國臺灣多家的OLED研究機構建有合作實(shí)驗室(明志科技大學(xué)，曜凌光電)，長(cháng)期從事OLED技術(shù)研發(fā)和技術(shù)更新，可與客戶(hù)進(jìn)行深度的OLED技術(shù)交流及合作。
可選配置：
1 預處理腔體；
2 傳輸腔體；
3 有機物蒸發(fā)鍍膜腔體；
4 金屬蒸發(fā)鍍膜腔體；
5 磁控濺射腔體；
6 原子層沉積封裝腔體；
7 高分子封裝鍍膜腔體；
8 Mask/基片存儲腔體；
9 機械/CCD對準機構；
10 手套箱集成；
手動(dòng)傳樣三腔體OLED Cluster
帶ALD封裝的三腔體OLED Cluster
標準6邊型OLEDCluster
標準全自動(dòng)OLED Cluster鍍膜系統
