四探針電阻率測試儀
四探針電阻率測試儀
在中國標準分類(lèi)中,四探針?lè )ㄉ婕暗桨虢饘倥c半導體材料綜合、金屬物理性能試驗方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導體材料、金屬無(wú)損檢驗方法。
GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定 擴展電阻探針?lè )?/span>
GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定.直排四探針?lè )?/span>
GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測定 直流兩探針?lè )?/span>
GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴展電阻探針?lè )?/span>
GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針?lè )?/span>
本儀器配置各類(lèi)測量裝置可以測試不同材料之電導率。液晶顯示,無(wú)需人工計算,并帶有溫度補償功能,電導率單位自動(dòng)選擇,BEST-300C 材料電導率測試儀自動(dòng)測量并根據測試結果自動(dòng)轉換量程,無(wú)需人工多次和重復設置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數據,自動(dòng)生成圖表和報表。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導率值、溫度、壓強值、單位自動(dòng)換算,配置不同的測試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產(chǎn)品及測試項目要求選購.
半導材料四探針測試儀(BEST-300C)
半導電材料電阻測試儀BEST-300C
特點(diǎn):電阻精度:0.01%,小分辨率0.1uΩ;
方電阻精度:1%,小分辨率:0.1uΩ;
雙電測原理,提精度和穩定性;
測試探頭直排和矩形可選;
標配RS232、LAN、IO、通訊接;
可配戴軟件查看和記錄測試數據;
適用范圍
使?四探針治具測試?狀或塊狀半導體材料、屬涂層以及導電薄膜等材料的?阻和電阻率
使?開(kāi)爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻;
四端測試法是目前較之測試方法,主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試;本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén),是檢驗和分析導體材料和半導體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類(lèi)測量裝置可以測試不同材料之電導率。液晶顯示,無(wú)需人工計算,并帶有溫度補償功能,電導率單位自動(dòng)選擇,BEST-300C 材料電導率測試儀自動(dòng)測量并根據測試結果自動(dòng)轉換量程,無(wú)需人工多次和重復設置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數據,自動(dòng)生成圖表和報表。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導率值、溫度、單位自動(dòng)換算,配置不同的測試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產(chǎn)品及測試項目要求選購.
提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇,滿(mǎn)足國內及國外客戶(hù)需求
四探針?阻測試儀是運?四探針原理測量?塊電阻的專(zhuān)?儀器,電阻率和電導率同時(shí)顯。儀器
測試范圍0-10MΩ,分辨率0.1uΩ,電阻精度0.01%,精度2%???于測試半導體、屬涂層導電薄膜等材料的?阻和電阻率。
參數便于查看的顯示/直觀(guān)的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀(guān)使用;
基本設置操作簡(jiǎn)單,方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果;多種參數同時(shí)顯示。
精度高:電阻基本準確度: 0.01%;
方阻基本準確度:1%;
電阻率基本準確度:1%
整機測量相對誤差:≤±1%;整機測量標準不確定度:≤±1%
四位半顯示讀數;十量程自動(dòng)或手動(dòng)測試;20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選;實(shí)現HIGH/IN/LOW分選
測量范圍寬: 電阻:10-7Ω~10+8Ω ;方阻:10-7Ω/□~10+8Ω/□;
正反向電流源修正測量電阻誤差
恒流源:電流量程為:DC100mA-1A;儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護被測件,即先讓探針頭壓觸在被測材料上,后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無(wú)影響時(shí),恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。
可配合多種探頭進(jìn)行測試;也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。
校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。
厚度可預設,自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計算出電阻率。
自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
雙電測測試模式,測量精度高、穩定性好.
具備溫度補償功能,修正被測材料溫漂帶來(lái)的測試結果偏差。
比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標志顯示;也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。
測試模式:可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。
軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數據;可供用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分
析。
顯示語(yǔ)言 英文/中文
供電模式110v/220v
提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇,滿(mǎn)足國內及國外客戶(hù)需求
半導材料四探針測試儀(BEST-300C)
半導電材料電阻測試儀BEST-300C
特點(diǎn):電阻精度:0.01%,分辨率0.1uΩ;
方電阻精度:1%,分辨率:0.1uΩ;
雙電測原理,提精度和穩定性;
測試探頭直排和矩形可選;
標配RS232、LAN、IO、通訊接;
可配戴軟件查看和記錄測試數據;
適用范圍使?四探針治具測試?狀或塊狀半導體材料、屬涂層以及導電薄膜等材料的?阻和電阻率
使?開(kāi)爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻;
四端測試法是目前較之測試方法,主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試;本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén),是檢驗和分析導體材料和半導體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類(lèi)測量裝置可以測試不同材料之電導率。液晶顯示,無(wú)需人工計算,并帶有溫度補償功能,電導率單位自動(dòng)選擇,BEST-300C 材料電導率測試儀自動(dòng)測量并根據測試結果自動(dòng)轉換量程,無(wú)需人工多次和重復設置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數據,自動(dòng)生成圖表和報表。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導率值、溫度、單位自動(dòng)換算,配置不同的測試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產(chǎn)品及測試項目要求選購.
提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇,滿(mǎn)足國內及國外客戶(hù)需求
四探針阻測試儀是運四探針原理測量塊電阻的專(zhuān)儀器,電阻率和電導率同時(shí)顯。儀器
測試范圍0-10MΩ,分辨率0.1uΩ,電阻精度0.01%,精度2%??捎跍y試半導體、?屬涂層導電薄膜等材料的阻和電阻率。
參數便于查看的顯示/直觀(guān)的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀(guān)使用;
基本設置操作簡(jiǎn)單,方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果;多種參數同時(shí)顯示。
精度高:電阻基本準確度: 0.01%;
方阻基本準確度:1%;
電阻率基本準確度:1%
整機測量相對誤差:≤±1%;整機測量標準不確定度:≤±1%
四位半顯示讀數;十量程自動(dòng)或手動(dòng)測試;20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選;實(shí)現HIGH/IN/LOW分選
測量范圍寬: 電阻:10-7Ω~10+8Ω ;方阻:10-7Ω/□~10+8Ω/□;
正反向電流源修正測量電阻誤差
恒流源:電流量程為:DC100mA-1A;儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護被測件,即先讓探針頭壓觸在被測材料上,后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無(wú)影響時(shí),恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。
可配合多種探頭進(jìn)行測試;也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。
校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。
厚度可預設,自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計算出電阻率。
自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
雙電測測試模式,測量精度高、穩定性好.
具備溫度補償功能,修正被測材料溫漂帶來(lái)的測試結果偏差。
比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標志顯示;也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。
測試模式:可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。
軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數據;可供用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分
析。
顯示語(yǔ)言 英文/中文
供電模式110v/220v
電阻測量范圍:
電阻率: 1×10-6~2×106Ω.cm、
電阻:1×10-5~2×105Ω
電導率:5×10-6~1×108ms/cm
分辨率: 醉小1μΩ