儀器簡(jiǎn)介：
通過(guò)位置精度較高的自動(dòng)樣品臺和高靈敏度性能，可以對微小異物進(jìn)行快速掃描和檢查，也可對電子基板等復合材料制品的微小特定部位實(shí)施定點(diǎn)精確測量。
特點(diǎn)：
1.快速掃描
憑借150萬(wàn)CPS的高計數率檢測器完成高靈敏度的測量，以及借助250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動(dòng)樣品臺，實(shí)現快速掃描測量。對于范圍為100 mm×100 mm的情況，可在2～3分鐘內檢測出端子部分的鉛并確定其位置。
2.連續多點(diǎn)測量
最多可500個(gè)測量位置進(jìn)行連續多點(diǎn)測量。由于采用自動(dòng)測量方式，因此在測量大量樣品是，也可發(fā)揮高效率。
3.高精密重合
通過(guò)Telecentric Lens 系統和高速?高精度XY平臺，將元素掃描像和光學(xué)成像進(jìn)行重合對微小部品的中心部分的目標元素也能進(jìn)行簡(jiǎn)單觀(guān)察。250 mm×200 mm上方觀(guān)察，并且能夠實(shí)現廣域位置最小誤差為100 μm以?xún)鹊木_定位。
4.微小部位測量
在FT系列中被的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說(shuō)極薄的鍍金等膜厚測量，即便是在進(jìn)行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)分析的膜壓測量的同時(shí)也可進(jìn)行膜厚測量。比如也可進(jìn)行無(wú)鉛焊錫鍍層及引線(xiàn)框架上Sn鍍層，無(wú)電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測量。
5.環(huán)境中限制物的測量
RoHS等限制物的高靈敏度測量，短時(shí)間內測出樹(shù)脂、金屬等中含有的微量環(huán)境限制物。對復合樣品也可專(zhuān)注到特定部位進(jìn)行測量
6.輕元素測量
通過(guò)安裝充氦選購項，可以分析鈉開(kāi)始的輕元素。測量中能夠獨立運轉的氦氣系統。將使用成本降低。
7.透視掃描機能
筆記本、手機等不能透過(guò)外包裝看到內部構造的產(chǎn)品，無(wú)需拆解就可得到不僅僅是基板上的Pb，甚至其他各種元素的掃描圖。通過(guò)比較X射線(xiàn)照射后得到的元素掃描圖像，可以了解關(guān)于產(chǎn)品內部部件構造的各種情報。
8.異物檢測EA6000VX
EA6000VX通過(guò)快速掃描功能可以在幾分中內檢測出寬廣范圍（250 mm×200 mm）內含有的幾十 μm的微小金屬異物，并查明其具體位置。也可檢測出樹(shù)脂等有機物內部還有的微小、微量金屬異物。
9.安全、安心的操作性
自動(dòng)接近、防止沖撞功能 操作臺上樣品一旦設定好啟動(dòng)后，自動(dòng)測量出樣品的高度，移動(dòng)到的測量高度。即便是復雜形狀的樣品，操作員也可輕松測量。另外，即便通過(guò)操作指南調整了測量高度，由于安裝了防止沖撞傳感器，因此不會(huì )使樣品受到損傷。
型號名稱(chēng)：EA6000VX
X射線(xiàn)源：50kV、1mA、空冷式
檢測器：半導體檢測器（無(wú)需液氮）
一次濾波器：6種模式自動(dòng)切換
準直器：0.2、0.5、1.2、3mm 自動(dòng)切換
樣品室大?。篧580mm×D450mm×H150mm
可全面測量250mm×200mm樣品
