Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內對450-1000nm的光譜數據進(jìn)行采集、建模
分析。自動(dòng)化雙軟件操作平臺，從簡(jiǎn)化的工作流程到研發(fā)，滿(mǎn)足不同層次和需求的客戶(hù)。
Smart SE是一款性?xún)r(jià)比的薄膜研發(fā)工具，以經(jīng)濟實(shí)惠的價(jià)格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統，準確定位分析位置及區域，7個(gè)不同尺寸的微光斑可用于微區特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復雜樣本的研究。
Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力，可方便實(shí)現在線(xiàn)與離線(xiàn)配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線(xiàn)原為測試。Smart Se可以滿(mǎn)足各類(lèi)應用領(lǐng)域，包括微電子，光伏，顯示，光學(xué)涂料，表面處理和有機化合物等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
●快速、準確
●易于升級
●光斑可視化
可選附件
●全自動(dòng)量角器，入射角度從450 到900可調，步徑0.010
●全自動(dòng)樣品臺：直徑200mm和300mm可選
●可通過(guò)法蘭耦合在反應腔實(shí)現在線(xiàn)監測
●冷熱臺
●液體樣品池和電化學(xué)反應池
●十字星自準直系統
