JSM-T800具備高分辨觀(guān)察和高速元素面分析,能夠滿(mǎn)足客戶(hù)的各種需求。該裝置配備浸沒(méi)式當特基場(chǎng)發(fā)射電子槍。
新一代電子光學(xué)控制系統Neo Engine、一體化EDS、易用的操作導航SEM Center、及可置換的物鏡模塊。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
集成的浸沒(méi)式肖特基Plus電子槍和低像差聚光透鏡可實(shí)現高亮度。
即使低加諫電床下也能獲得充足的探針電流(100nAa5ky),這可幫助
用戶(hù)在對SEM參數進(jìn)行微小調整的情況下,進(jìn)行高分辨觀(guān)察、高速元素面分析,EBSD分析,軟X射線(xiàn)分析
·SEM Center/EDS一體化
操作導航"SEM Center"與本公司生產(chǎn)的EDS進(jìn)行了全面集成,更易干操作
·高位檢測器UHD (Upper Hybrid Detector)
SHL物鏡里標配高位檢測器,可高效檢測樣本中的電子,從而獲得高S/N的圖像