EVC無(wú)塵烘烤箱的詳細資料：
Class 100 Clean Ovens
一、設備用途:
Class100 潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設計)方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
三．無(wú)塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級無(wú)塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級無(wú)塵烤箱,100級潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數：
1.主要技術(shù)指標：
無(wú)塵等級：Class 100; 溫度范圍： RT+20～+300℃；
溫度均勻度：200℃±4℃; 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
電源：380v , 50Hz，15KW 網(wǎng)板：2塊（高度可調節)
潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡(jiǎn)單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設定動(dòng)作的程序運行。標準配置溫度過(guò)升防止器。
| 設備型號 | 溫度范圍 | 內容積 | 其它參數 | 內尺寸 （W×D×Hmm） | 外尺寸 （W×D×Hmm） |
| EVC150 | (RT+60)～+200℃ | 150L | 潔凈度：100級 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
| EVC360 | (RT+60)～+200℃ | 320L | 潔凈度：100級 | 600×600×900 | 770×1025×1850 |
| EVC640 | (RT+60)～+200℃ | 640L | 潔凈度：100級 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
| EVCH150 | (RT+60)～+350℃ | 150L | 潔凈度：100級 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
| EVCH360 | (RT+60)～+350℃ | 360L | 潔凈度：100級 | 600×600×900 | 770×1025×1850 |
| EVCH640 | (RT+60)～+350℃ | 640L | 潔凈度：100級 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
2、箱體結構：
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統組裝而成，結構合理，外觀(guān)美觀(guān)大方；
箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3、溫控系統：
采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自 動(dòng)演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。；
訊號來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號輸出。
4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、 控制線(xiàn)路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過(guò)電流保護裝置、
馬達過(guò)電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、 門(mén)面安全開(kāi)關(guān)
5、選購設備(需另外收費)：
可程式溫控器 無(wú)紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無(wú)塵等級和尺寸可根據要求定制。
