BM-107JE 精密測量顯微鏡
一、用途
BM-107JE型測量顯微鏡是一種小型二維數顯測量的計量?jì)x器,儀器主要采用透、反射照明方式,通過(guò)觀(guān)察和數顯系統對精密件的幾何量(長(cháng)度、角度)進(jìn)行觀(guān)察、分析、測量。特別適用于大規模集成電路線(xiàn)寬、小型零件(如鐘表零件)及其他精密件幾何參數的測量。 儀器可以連接CCD進(jìn)行影像測量。儀器體積小、重量輕、可廣泛應用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)以及科學(xué)研究部門(mén)。 |
二、技術(shù)規格
光學(xué)系統 | 無(wú)限遠正像光學(xué)系統 | ||||
觀(guān)察方式 | 目鏡筒 | 1、30°鉸鏈式三目頭(48mm-75mm) 2、0.3XCCD適配鏡 | |||
光學(xué)方式 | 透射、反射 | ||||
物鏡參數 | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
視場(chǎng)直徑(mm) | 34 | 17 | 8.5 | 3.5 | |
工作距離(mm) | 14.47 | 16.01 | 10.5 | 5.1 | |
目鏡參數 | WF10X/Φ22mm | ||||
WF10X/Φ20mm帶0.1mm十字分劃板 | |||||
測量范圍 | 工作臺測量范圍:50×50mm | ||||
圓工作臺角度測量范圍:0°~360° | |||||
分度值 | X,Y方向分度值:0.001mm | ||||
圓工作臺游標分度值:5′ | |||||
測量精度 | 儀器示值誤差±(4+L/25)μm, L-被測件長(cháng)度mm | ||||
調焦裝置 | 粗微動(dòng)同軸調焦行程:150mm,微m動(dòng)格值:0.002mm | ||||
照明裝置 |
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儀器主要尺寸 | 工作臺:200×200mm,測量工作臺直徑120mm , 玻璃工作臺直徑75mm | ||||
選購件 |
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2、日本三豐Mitutoyo 數顯測微手輪 分辨率0.001mm 公英制轉換 | |||||
3、Z向輔助測量裝置 | |||||
4、二維測量軟件 |