1) 采用剛性好的固定橋式結構,具有 精度、 性能和 穩定性的優(yōu)點(diǎn);
2) 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動(dòng),具有剛性高,反向間隙小、傳動(dòng)精度高的特點(diǎn);
3) 采用優(yōu)質(zhì)花崗巖空氣軸承導軌結構,熱膨脹系數小,導向精度高,運行平穩;
4) Y向采用燕尾式氣浮導軌設計,使其在X、Z方向具有較強的抗扭強度;
5) Z軸采用技術(shù)的氣浮套結構,偏置力矩小,運動(dòng)平穩;
6) 光柵尺采用進(jìn)口精度插槽式光柵尺;
7) 配備5環(huán)8區四色環(huán)形光源、輪廓光源、同軸光源,可控光源系統,智能實(shí)現光源亮度調節。