詳細信息
產(chǎn)品技術(shù)指標垂直量程:±25μm、±200μm
系統分辨率:滿(mǎn)量程8納米
顯示分辨率:0.001μm
針尖半徑:2μm或5μm
濾波方式:GAUSS、2RC、ISO13565
標準:IOS1997、ANSI、JIS2001
取樣長(cháng)度:L/驅動(dòng)速度Vt
L=0.08mm/Vt=0.25mm/s
L=0.25mm/Vt=0.25mm/s
L=0.8mm/Vt=0.5mm/s
L=2.5mm/Vt=1mm/s
返程速度均為1mm/s
評定長(cháng)度Ln:Ln=(1-5)L
示值誤差/示值重復性:10%/6%
測量參數:Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr1、A1、A2
工作環(huán)境:溫度0℃ ~ 40℃;濕度< 90% RH
存儲環(huán)境:溫度-40℃ ~ 60℃;濕度< 90% RH
外形尺寸和重量:156×75×53mm,760g
傳感器驅動(dòng)套:29×26×120mm
標準配置
主機;傳感器;驅動(dòng)器;充電器;樣塊;
可選附件:其他傳感器;測量平臺;
操作示意圖