ATI-212高溫半導體材料電阻率測試儀
ATI-212型高溫半導體材料電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線(xiàn)電阻法測量原理進(jìn)行設計開(kāi)發(fā)，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線(xiàn)。目前主要針對圓片、方塊、長(cháng)條等測試樣品進(jìn)行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。
技術(shù)參數： 高溫型體積表面電阻率測定儀廠(chǎng)家
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.5℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法：四線(xiàn)電阻法
測試通道：?jiǎn)瓮ǖ?/span>
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數據存儲格式：TXT文本格式
數據傳輸：USB
符合標準：ASTM
供電：220V±10%，50Hz 高溫型體積表面電阻率測定儀廠(chǎng)家
工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；
存儲溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃
工作濕度：+40 ℃ 時(shí)，相對濕度高達 95%（無(wú)冷凝）
設備尺寸：400x450x580mm
重量：38kg
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 高溫爐膛、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得更加簡(jiǎn)單，測量精度則會(huì )更高；
■ 觸摸屏控制和顯示，同時(shí)支持外接鍵盤(pán)和鼠標操作，滿(mǎn)足多樣化需求；
■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400，擴展應用更加方便；
■ 可以實(shí)現常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導體材料的電學(xué)性能；
■ 專(zhuān)業(yè)的測量軟件，可以測量半導體材料的方塊電阻和電阻率；
■ 進(jìn)口纖維一體開(kāi)模鑄造的高溫爐膛，高耐溫1100℃；
■ 內膽采用進(jìn)口金屬材料，耐高溫、抗氧化，可實(shí)現常溫、高溫、真空、流動(dòng)氣氛等多種試驗環(huán)境下的電學(xué)測量；
■ 為了減小高溫下導線(xiàn)受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩，有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬；
■ 采用九點(diǎn)控溫法，以傳感器為中心點(diǎn)，其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設八個(gè)溫度采集點(diǎn)，九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的溫區；
■ 彈簧夾具設計，彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實(shí)現樣品的良好接觸；
■ 上電極半球狀+下電極平板狀結構設計，可以精確定位測量被測樣品某一點(diǎn)；
■ 控溫和測溫采用同一個(gè)傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度；
■ 采用九點(diǎn)控溫法，九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的佳溫區；
■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì)，利用葉片設計可以很好解決因平臺帶來(lái)的熱弛豫影響；
■ 可以測量半導體材料的方塊電阻、電阻率，實(shí)現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能；
■ 操作簡(jiǎn)單，功能強大的測量軟件，可以通過(guò)輸入樣品的面積和厚度，軟件自動(dòng)計算樣品的電阻率ρv；
■ 智能化控制，可自動(dòng)調節施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿；
■ 采用新的RAM嵌入式開(kāi)發(fā)平臺，可以進(jìn)行在線(xiàn)升級、遠程協(xié)助及故障診斷；
■ 測量軟件*設計；
