MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監測、過(guò)程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業(yè)界的 ISO 21501 數據準確性和再現性，是業(yè)內最潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。
基本描述
便攜式空氣顆粒計數器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在
- 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染 - 熱插拔電池-確保儀器長(cháng)時(shí)間連續運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無(wú)論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時(shí)都無(wú)需停機 - 測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規性更容易得到保證
可在監控您的半導體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節省時(shí)間并消除錯誤 - 順序采樣系統
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統部署低成本的現場(chǎng)監控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。 - 靈活的通訊方式——設置簡(jiǎn)單，數據傳輸方便
供選擇的無(wú)線(xiàn)，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統，或者客戶(hù)已有監控軟件，以便減少文書(shū)工作 - 直觀(guān)的用戶(hù)界面
簡(jiǎn)便的區域，位置和運行參數的配置和復制，節約運行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤(pán)中，從而消除參數設置錯誤，并節省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計數組部署采樣計劃！ - 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
專(zhuān)用于滿(mǎn)足特殊顆粒計數要求，儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。
產(chǎn)品參數
| 通道個(gè)數 | 6 |
| 粒徑 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ |
| 光源 | 氦氖激光器 |
| 重量 | 不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤 |
| 尺寸 | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長(cháng) x 高) |
| 機箱材質(zhì) | 便于清洗的鈍化不銹鋼 |
| 流速 | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| 零計數 | ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區間 |
| 符合損失 | 在 50,000 /ft3 時(shí)，為5%，符合ISO 21501-4標準 |
| 泵的類(lèi)型 | 可供連續使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
| 計數效率 | 在0.1 µm時(shí)為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時(shí)為 99% |
| 運行溫度 | 10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%，無(wú)冷凝 |
| 顯示 | ? VGA 彩色 TFT 觸摸屏 |
| 打印機 | 高速熱敏打印機 |
| 語(yǔ)言 | 英語(yǔ)，法語(yǔ)，德語(yǔ)，意大利語(yǔ)，西班牙語(yǔ)，韓語(yǔ)*，日語(yǔ)*，中文 |
| 可以顯示的數值 | 9,999,999 displayed |
| 延遲時(shí)間 | 15秒鐘至23小時(shí)59分59秒 |
| 采樣/停留時(shí)間 | 1秒鐘至23小時(shí)59分59秒 |
| 計數警報 | 1~ 9,999,999 個(gè)計數值 |
| 位置 | 編號：0 至 999; 名稱(chēng):文字描述，顯示在打印輸出資料上 |
| 數據存儲 | 5,000 個(gè)樣品， 在歷史數據查看頁(yè)面上可以滾動(dòng)(FIFO 或 Overflow) |
| 輸出 | USB 客戶(hù)端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無(wú)線(xiàn)輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統 (警報和掃描探頭) |
| 鋰電池，可充電、可熱插拔 | Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
| 輸入 | 空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭 |
| 自動(dòng) CDA 清洗 | 連接到CDA之后，清洗電磁閥會(huì )被激活 |
| 電源 | 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器 |
| 電池類(lèi)型 | 智能鋰電池，可充電，可熱插拔 |
| 電池使用時(shí)間 | 最短 3 小時(shí) |
| 電池的充電時(shí)間 | 電池的充電時(shí)間 |
| 包含電池數量 | 2組 |
應用領(lǐng)域
專(zhuān)應用于半導體行業(yè)的空氣顆粒計數：
- 潔凈室驗證監測
- 潔凈室的分級
- ISO14644潔凈室驗證
- 潔凈室顆粒物監測
- 生產(chǎn)過(guò)程的連續監測
- 顆粒污染源的排除過(guò)程
- HEPA過(guò)濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
- 過(guò)濾器掃描
- 高壓氣體監測可簡(jiǎn)單地通過(guò)氣體選擇菜單選擇相應氣體，流量會(huì )自動(dòng)調整
空氣顆粒計數器生命科學(xué)標準及委員會(huì )：
- 國際標準化組織 (ISO)
- ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
- ISO 21501顆粒分布測確定--用于無(wú)塵空間的光散射顆粒計數器
- 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)
