Energetiq生產(chǎn)的光源具有高可靠性,高性能,高亮度,長(cháng)壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍,譜線(xiàn)包括軟遠紫外線(xiàn)(EUV),深紫外線(xiàn)(DUV),并覆蓋從可見(jiàn)光到紅外光區(IR),波長(cháng)范圍從170nm到2100nm以上。Energetiq的光源結構緊湊,使用方便,性?xún)r(jià)比高的特點(diǎn),寬譜線(xiàn)并帶光纖耦合輸出。
性能特性:
高亮度 — 輸出強度是75W Xe燈的10倍、30W氘燈的100倍以上
高穩定性 — 可比擬激光器的功率穩定性和空間穩定性
寬光譜輸出 — 170nm~2100nm,一個(gè)光源滿(mǎn)足各種常用需求
超長(cháng)壽命 — 無(wú)電工作,單個(gè)燈泡壽命9000個(gè)小時(shí),更低維護成本
更高的耦合效率 — 光斑尺寸<100um,并提供光纖以及自由光輸出選項