FCL-200是一款專(zhuān)為控制液體流量而研發(fā)的液體流量控制器，接液部分均采用聚四氟乙烯材質(zhì)，用于純水條件下半導體工藝流程中流體的控制以及醫藥、食品相關(guān)方面的液體控制等。
- 接液部分均采用聚四氟乙烯材質(zhì)，可將純凈的流體控制在一定流量范圍內
- 采用專(zhuān)用新型閥門(mén)結構，幾乎不會(huì )產(chǎn)生粒子
- 高溫型可在80℃下進(jìn)行控制
- 可通過(guò)RS232C進(jìn)行通信操作
標準規格
| 使用流體 | 水、純水、超純水（其他液體請咨詢(xún)） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 0.4～2.0L/min（工作壓差150kPa以上） | |||||
| 允許工作流體溫度 | 10～35℃（常溫）（可選：10～80℃） | |||||
| 測定精度 | ±1%F.S.（at25℃純水校準） | |||||
| 重現性 | ±0.7%F.S.（at25℃純水校準） | |||||
| 響應速度 | 閥門(mén)關(guān)閉→99%F.S.：2秒以?xún)取?9%F.S.→閥門(mén)關(guān)閉：2秒以?xún)龋╝t25℃純水，壓差＝150kPa條件下） | |||||
| 接液部分材質(zhì) | PTTA,PFA | |||||
| 供應壓力 | 0.15～0.35MPa（泵脈動(dòng)±50kPa以下） | |||||
| 耐壓 | 0.6MPa（at25℃） | |||||
| 工藝連接件 | 3/8英寸（φ9.52×6.35） 日本支柱工業(yè)SUPER 300 Ptype接頭 | |||||
| 專(zhuān)用電源電纜長(cháng)度 | 3m | |||||
| 電纜外皮 | PVC | |||||
| 結構 | 與IP64同等（電裝部分） | |||||
| 閥門(mén)結構 | 常開(kāi)型 | |||||
| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 0?50℃ | |||||
| 環(huán)境濕度 | 10～85%RH（無(wú)結露） | |||||
| 安裝方向 | 自由（建議水平設置） | |||||
| 重量 | 約1.3kg | |||||
注意
本產(chǎn)品無(wú)法斷開(kāi)。
如需斷開(kāi)請在前端安裝斷開(kāi)專(zhuān)用閥門(mén)。
請在本機前端安裝過(guò)濾器等，避免混入異物。
使用流體中混入的氣泡量超過(guò)5%時(shí)，輸出流量精度可能會(huì )出現異常，請注意。
本規格可能會(huì )在未經(jīng)通知的情況下發(fā)生變更。
電氣規格
| 測定方式 | 卡門(mén)旋渦式 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 輸入信號 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 輸出信號 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 電源 | DC24V±5% | |||||
| 電源電壓波動(dòng) | ±10%以?xún)?/td> | |||||
| 消耗電流 | 約200mA | |||||
| 通信功能（可選） | RS232C（電纜3m） | |||||
外形圖
使用示例
專(zhuān)用電源電纜3m（線(xiàn)路布置）
