
ZPT-X大型隔振光學(xué)平臺
產(chǎn)品特點(diǎn):
■大型隔振光學(xué)平臺基礎根據用戶(hù)要求實(shí)驗面積較大的使用情況研制開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品,其保持了原氣浮隔振光學(xué)平臺的優(yōu)點(diǎn),在重載荷下具有抗系統干擾的能力。
■氣動(dòng)元器件均采用德國FESTO產(chǎn)品,標配進(jìn)口無(wú)油壓縮機。
■該產(chǎn)品適用于對隔振要求較高,平臺工作臺面大,載荷要求高的環(huán)境。
技術(shù)指標:
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:<0.8μm
■固有頻率:1.2Hz~2.0Hz
■表面粗糙度:<0.8μm
■固有頻率:1.2Hz~2.0Hz
■減振效率:x方向<5Hz時(shí):86%~92% y方向<5Hz時(shí):84%~90%
■重復定位精度:±0.05mm
x方向<10Hz時(shí):90%~96% y方向<10Hz時(shí):88%~93%
■振幅:< 1.2μm■重復定位精度:±0.05mm
接受客戶(hù)任意規格定制生產(chǎn)