1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）
AFM5300E能夠實(shí)現高真空的測試環(huán)境，減小樣品表面吸附水對測試的影響，實(shí)現準確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現更大范圍的溫度控制。（*利3857581號、*利3926638號）
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特s氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
2. 簡(jiǎn)便操作（綜合型Holder Flange）
通過(guò)采用『綜合型Holder Flange開(kāi)合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。 也省去測試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節。
3. 高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。
4. 通過(guò)減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
技術(shù)參數
| 分辨率 | 原子相 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm) |
| 樣品移動(dòng)范圍 | X-Y stage 5 mm |
| 掃描范圍 | 標準： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制） 定位顯微鏡 • 簡(jiǎn)易顯微鏡（×200倍） • 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） • 變焦顯微鏡（×700倍） • 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍） |
| 檢測功能 |
|
| 選配件 | 高溫加熱樣品臺 加熱冷卻兼用樣品臺 冷卻真空 溫度控制 |
