真空泵機組是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
發(fā)展歷史
2SK水環(huán)真空泵
隨著(zhù)真空應用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數百萬(wàn)升。隨著(zhù)真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機組型式應用。
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過(guò)程中的主力泵種。近年來(lái)， 伴隨著(zhù)我國經(jīng)濟持續高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應用行業(yè)保持快速增長(cháng)勢頭，同時(shí)在真空泵應用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現了持續穩定地快速的發(fā)展。
結構特點(diǎn)
1)泵總體結構型式
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
立式結構的進(jìn)、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高，在高速運轉時(shí)穩定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構低，高速運轉時(shí)穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。
泵的兩個(gè)轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。
2)泵的傳動(dòng)方式
真空泵的兩個(gè)轉子是通過(guò)一對高精度齒輪來(lái)實(shí)現其相對同步運轉的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動(dòng)結構布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動(dòng)轉子由電動(dòng)機端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉子軸的扭轉變形小，則兩個(gè)轉子之間的間隙不會(huì )因主動(dòng)軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱(chēng)，泵的偏向電動(dòng)機和齒輪箱一側。
特點(diǎn)
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
(2)轉子具有良好的幾何對稱(chēng)性，故振動(dòng)小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動(dòng)功率，從而可實(shí)現較高轉速；
(3)泵腔內無(wú)需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；
(4)泵腔內無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結構簡(jiǎn)單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線(xiàn)柱面，加工和檢查比較困難。
