BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計
INFICON
貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術(shù)相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計，價(jià)格經(jīng)濟，且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時(shí)確保了高再現性。
益處
- 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
- 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護單絲，防止過(guò)早燒毀
- 兩根使用壽命長(cháng)的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調節，減少操作員干預
- 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
- RoHS 合規
典型應用
- 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
新聞
現有全新EtherCAT數字接口供應！
零件號
| BPG402-S | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 353-570 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S 真空計 |
| 353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD 型真空計 |
| 353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. |
| 353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
規格
| 類(lèi)型 | BPG402-S | |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣、O2、CO、N2） | mbarTorr | 5×10-10 … 1000 |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重復性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除氣 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 壓力， | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 運行（環(huán)境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤，無(wú)電子設備 BPG402-S | °C | 80 |
| 無(wú)電子設備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
| 電源電壓 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 … +10 |
| 測量范圍 | V | +0.774 … +10 |
| 電壓與壓強 | volts per decade | 0.75 |
| 錯誤信號 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
| 最小負載電阻 | k? | 10 |
| 設定點(diǎn)繼電器 | ||
| 設定點(diǎn)數量 | 1 | |
| 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
| 滯后 | % of reading | 10 |
| 觸點(diǎn)額定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
| 數字功能 | degas | |
| 接口（數字）(2) | RS232C | |
| 發(fā)射控制 | automatic / manual via interface | |
| 單絲 | two Yt2O3 coated Ir | |
| 單絲狀態(tài)/繼電器 | LED / relay | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長(cháng)度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
| 保護等級 | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 設定點(diǎn)數量 | 2 | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 設定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
| Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| CDG（模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn)）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ | ||
| 協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數據率開(kāi)關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長(cháng)度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 電纜長(cháng)度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 電纜長(cháng)度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 技術(shù)規格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 設備類(lèi)型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 從屬傳訊 | polling only | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 設定點(diǎn)數量 | 2 | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 設定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
| 設定點(diǎn)繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 | V (dc)A (dc) | ≤30 |
| DeviceNet™ 電源電壓 | V (dc)A (dc) | +11 … +25 |
| 真空計電源電壓 | V (dc)A (dc) | +20 … +28 |
| DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn)）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 以太網(wǎng) | ||
| 以太網(wǎng)協(xié)議 | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通訊標準 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 節點(diǎn)地址 | Explicit Device Identification | |
| 物理層 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 以太網(wǎng)數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
| 過(guò)程數據 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 郵箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
| 以太網(wǎng)連接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 電纜 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 電纜長(cháng)度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
1) 除氣期間降低精度
2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場(chǎng)總線(xiàn)
3) 適用于 RS232C 運行 <30m
