低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包含電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系出現低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是使用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續的各種反應以達到降解污染物的意圖。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，歸于常溫運轉。）
與目前國內常用的異味氣體辦理方法相比較，等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)具有以下特點(diǎn)：
低溫等離子體技術(shù)應用于惡臭氣體辦理，具有處理作用好，運轉費用低價(jià)、無(wú)二次污染、運轉安穩、操作辦理簡(jiǎn)便、即開(kāi)即用等長(cháng)處。
