英國Hiden公司的RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers),用于真空診斷和工藝工程的精確分析。
RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀包括HAL RGA ,3F Series RGA和3F-PIC三種規格水平。
·PPM靈敏度
·通過(guò)RS232、USB或Ethernet連接計算機,MASsoft專(zhuān)業(yè)軟件控制
·快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
·混合模式掃描-多個(gè)windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰
·同步顯示數據圖,列表
·同步背景扣除,自動(dòng)質(zhì)量數列表
·數據輸出為ASCII格式,至windows設備
·即時(shí)動(dòng)態(tài)數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如 Excel、SPC-IV統計過(guò)程控制軟件等
·質(zhì)量數范圍: 200,300 amu
·掃描速度: 100amu/s
·最小掃描步階:0.01amu
·靈敏度: 0.1 ppm~1ppm
·穩定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%