產(chǎn)品概述
DVIA-MO 系列高精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺為韓國DAEIL（大一）株式會(huì )社生產(chǎn)的主動(dòng)隔振光學(xué)平臺，由臺面和主動(dòng)隔振支撐兩部分組成。
臺面采用真蜂窩三層夾心式結構，上臺面為熱形變系數很小的430 系列高導磁鎳合金不銹鋼，臺面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺紋孔，方便安裝儀器，每個(gè)螺紋孔下方具有獨立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結構，是把0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結構，增加了臺面結構的密度，減小體積，采用*的粘合工藝，堅固耐用。臺面的底部和側板用碳鋼作為主體材料，具有非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)的剛性。
主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機構和主動(dòng)隔振器DVIA-M，每個(gè)支撐里面一般會(huì )有4 個(gè)DVIA-M 系列主動(dòng)隔振器和一臺主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動(dòng)的驅動(dòng)器，主要消除0.5-10Hz 的外部振動(dòng), 被動(dòng)隔振系統部分同時(shí)承擔著(zhù)支撐負載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用。
這個(gè)系列的平臺可以在低頻范圍（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以應用于很多對振動(dòng)要求非常高，甚至具有挑戰的領(lǐng)域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺DVIA-MO系列特點(diǎn)：
•具有非常優(yōu)良的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz-10Hz達到90%以上的隔振效率；
•采用慣性傳感器，可以檢測出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補償；
•采用真蜂窩三層夾心式結構臺面，厚度可選100/200/300mm；
•進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺；
•隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導體檢測設備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等
細節說(shuō)明：
細節說(shuō)明：
應用案例
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺DVIA-MO系列技術(shù)指標：
• 固有頻率：0.5-100Hz
• 自動(dòng)平衡，相應時(shí)間短，平衡速度快
• 鋼制真蜂窩結構,：0.25mm厚箔
• 蜂窩芯尺寸 ：3.2cm2 (0.5 in²)
• 表面平整度：±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
• 上臺面 ：4mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼
• 下地面 4.5厚碳鋼，表面氧化處理
• 邊墻板 2.0mm厚碳鋼。包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔徑： M6 (英制螺孔可選)
• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，*外邊孔距平臺邊緣37.5mm
• 螺孔密封：每個(gè)螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封，方便清潔
• 阻尼隔振方式：寬帶阻尼
DVIA-M系列主動(dòng)隔振器參數表：| 型號 | DVIA-M1000 | DVIA-M2000 | DVIA-M3000 | |
| 尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 |
| 控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 | |
| *大負載(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 | |
| 重量(kg) | 15 | 15 | 15 | |
| 驅動(dòng)方式 | 電機驅動(dòng) | |||
| 隔振自由度 | 6個(gè)自由度 | |||
| 隔振效率 | 95%-99%at 10Hz | |||
| 回復時(shí)間 | <0.5Sec | |||
| 驅動(dòng)器推力 | 豎直>20N,水平>40N | |||
| 輸入電壓 | AC 85-264/50-60Hz | |||
| 功率消耗 | 峰值功率110W,穩定功率50W | |||
| 空氣壓力 | 大于0.5Mpa | |||
| 環(huán)境要求 | 溫度℃ | 5-50°C | ||
| 濕度 | 20%-90% | |||
| 主動(dòng)隔振頻率范圍 | 0.5-100Hz | |||
| 初始水平調整 | 自動(dòng)調整 | |||
| 系統配置 | 4個(gè)隔振器包含控制箱 | |||
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺DVIA-MO系列選型表詳見(jiàn)資料下載
