實(shí)驗室整體設計工程
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
分類(lèi)
亂流式(TurbulentFlow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板
亂流式回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式(Laminar)
| 等級名稱(chēng) | 等級限值 | ||||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
| 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | |||||||
| 國際單位 | 英制 單位 | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft |
| M1.0 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | |
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / |
| M2.0 | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | |
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / |
| M3.0 | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | |
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / |
| M4.0 | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / | |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
| M5.0 | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 |
| M6.0 | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | |
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
| M7.0 | / | / | / | / | / | / | 283000 | 61800 | 1750 |
展開(kāi)
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率99%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
缺點(diǎn):建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
亂流式缺點(diǎn):構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式(MixedType)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域99%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴充容易; B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為***適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
折疊編輯本段
空氣潔凈度
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GBJ73-84)，1996年該規范進(jìn)行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。該規范在重新修訂中。
| 等級 | 每立方米(升)空氣中≥0.5μm塵粒數 | 每立方米(升)空氣中≥5μm塵粒數 |
| 100 | ≤35*100 (3.5) | |
| 1000 | ≤35*1000(35) | ≤250(0.25) |
| 10000 | ≤35*10000(350) | ≤2500(2.5) |
| 100000 | ≤35*100000(500) | ≤25000(25) |
