氣體流量傳感器 特點(diǎn)
;靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量；
;傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無(wú)需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
;在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
;各種連接方式，易于安裝與使用；
;輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數據或
由上位機查詢(xún)輸出數據，也可通過(guò)模擬接口輸出
線(xiàn)性的模擬電壓；
;LED顯示瞬時(shí)流量和累積流量，允許現場(chǎng)用鍵盤(pán)配
置流量計參數；
;可記錄自上電以來(lái)瞬時(shí)流量的zui大值和zui小值，具
有超量程指示功能；
;零點(diǎn)穩定度高；
;全量程高穩定性、高精確度和優(yōu)良的重復性；
;低功耗、低壓損；
;響應速度快。
氣體流量傳感器簡(jiǎn)介
氣體質(zhì)量流量計是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測量和過(guò)程控制而設計的。這一系
列流量計均采用本公司自主研發(fā)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清
潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過(guò)通
訊接口可實(shí)現對流量計的靈活配置與參數查詢(xún)。
具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用
戶(hù)在現場(chǎng)調整或查詢(xún)流量計的參數。
應用
;環(huán)境監測
;電纜充氣機
;
;
;設備通風(fēng)檢測裝置
;其他工業(yè)應用
性能指標
部件描述
性能參數 單位
通徑： 8 mm
zui大流量： 20 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±（1.5+0.2FS）
重復性%： 0.75
零點(diǎn)輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應時(shí)間ms：100（默認，50，100，200，500，1000可設置）
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數碼管顯示，2個(gè)指示燈
指示單位：瞬時(shí)流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設置
zui大流量壓損： 600 Pa
zui大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 8mm螺紋接口（外） /快插
鍵盤(pán)：三個(gè)按鍵
引出線(xiàn)：5針插頭，配0.5m電纜
標準校準氣體空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量g：57
產(chǎn)品關(guān)鍵詞：，流量傳感器，氣體傳感器
