半導體高純氣露點(diǎn)儀
半導體高純氣露點(diǎn)儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器,簡(jiǎn)稱(chēng)石英振蕩傳感器,具有抗污染,無(wú)漂移等優(yōu)點(diǎn),測試范圍可低至-120度露點(diǎn)儀,也就是ppb微量水分析儀,半導體高純氣露點(diǎn)儀在半導體高純氣體,新材料特種氣體及研發(fā)機構中應用廣泛,是為數不多的石英振蕩技術(shù)實(shí)力派之一。石英晶體振蕩露點(diǎn)儀
- 半導體高純氣露點(diǎn)儀特點(diǎn)
- 全量程從0.001 ~ 2000 ppmV 范圍,實(shí)現高精度的測量
- 使用簡(jiǎn)便,現場(chǎng)維護方便快捷,維護成本低
- 精度高達 0.01ppmV,取較大值
- 半導體高純氣露點(diǎn)儀針對變化中取樣條件進(jìn)行可靠的測量 — 根據樣氣壓力和流量的變化進(jìn)行自動(dòng)調整
-
- 不受背景氣體組分改變的影響
- 維護間隔時(shí)間長(cháng)
- 十分鐘時(shí)間就可以替換干燥筒
- 直觀(guān)的菜單界面
- Ethernet 或者 USB 數字通訊
- SD 卡數據記錄
- SD 可選內置取樣系統和旁路
三、半導體高純氣露點(diǎn)儀產(chǎn)品技術(shù)參數
性能 | |
測量技術(shù) | 快速響應的石英晶振技術(shù) |
范圍 | 校驗范圍 0.1 到 2000ppmv |
精度 | 0.01 ppmV ( 0.001 ~ 1 ppmV) 讀數的 ±10%(1 ~ 2000 ppmV) |
重復性 | ±0.01 ppmV ( 0.1 ~ 1 ppmV) 讀數的±5% ( 1 ~ 2000 ppmV) |
測量單位 | ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf |
響應速度 | T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘 |
靈敏度 | 0.001 ppmV 或讀數的1%,取較大值 |
自我校驗 | 內置濕度發(fā)生器作為標準源 校驗可溯源到 NPL & NIST |
靈敏度 | 0.001ppmv 或 1% 讀數,取zui大 |
顯示 | |
半導體高純氣露點(diǎn)儀 | 可選 |
模擬輸出 | 2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V |
數字輸出 | 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸 |
數據記錄 | 直接記錄到 SD 卡或通過(guò) PC 應用軟件傳輸 |
報警 | 1 x 系統警報,干接點(diǎn)(FORM C) |
電源 | 24V |
工作條件 | |
進(jìn)氣壓力 | 1 barg |
出氣壓力 | 大氣壓 |
樣氣流量 | 300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓 |
樣氣溫度 | 0 ~ +100°C |
工作環(huán)境 | 室內:+5 ~ +46°C,zui高達到90% RH |
機械性能 | |
外殼 | 不銹鋼 |
氣體接口 | G1/2英寸 |
重量 | 0.2Kg |
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