WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應波前質(zhì)量的大批量檢測的需求而研發(fā)的兩款儀器,可自行設置合格標準,并根據該標準自動(dòng)判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤(pán)系統,實(shí)現對單個(gè)小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。
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