真空等離子清洗機
(1) 產(chǎn)品介紹
該設備為一種新型小型一體化等離子清洗氧化設備,可用于工件的清洗,氧化處理。
(2) 特點(diǎn)
1. 配備高真空機械油泵,極限真空度可達到0.1 Pa,抽速>3 l/s;
2. 配備兩個(gè)氣體輸入口,并配備流量計和針型閥進(jìn)行流量和真空度控制,標配流量量程100 ml/min,真空度10 Pa以上可調;
3. 標配射頻等離子源頻率13.56 MHz(可選配40 KHz),標配功率100 W(可選配其他功率),調節精度1 W;
4. 不銹鋼等離子腔體尺寸為~?150*240 mm,腔體內部光滑處理,配有相應的法蘭接口和氣體進(jìn)口,及其它輔助安裝口;
5. 工作臺尺寸為:140 mm*200 mm,高度80 mm,可放置小于該尺寸的樣品;
6. 真空采用電阻真空計和相應的壓力控制儀測量,測量范圍10-1~105 Pa,精度1%;
7. 不銹鋼等離子腔體采用正面開(kāi)門(mén)式結構,蓋上配有觀(guān)察窗,操作方便。