技術(shù)參數：
l 自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導電噴鍍效果。
l 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
l 操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
l 在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程?？赏ㄟ^(guò)數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果，
l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
l 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。
l 樣品室大?。?/span>直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
l 樣品臺：可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調范圍為50mm
l 濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，電流40mA，程序化數字控制
l 濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區護罩
l 模擬計量：真空： Atm - 0.001mbar，電流：0-50mA
l 控制方法: 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄底侄〞r(shí)器（5－300s），自動(dòng)放氣.整個(gè)操作亦可全手動(dòng)控制。
l 真空泵：，抽氣速率: 6.0 m3/小時(shí) ，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒.
l 桌上系統: 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統
l 保修期：免費保修一年
