在當今及以后的光伏和半導體制造流程當中,靶材無(wú)疑是重中之重的原材料,其質(zhì)量和純度對半導體產(chǎn)業(yè)鏈的后續生產(chǎn)質(zhì)量起著(zhù)關(guān)鍵性作用,而靶材與背板的結合強度是其中重要的一環(huán),新國標GB/T39163-2020 靶材與背板結合強度測試方法規定了靶材與背板的結合強度試驗方法,該試驗分為拉伸試驗和剪切試驗,方法如下




主要技術(shù)指標
型號 JD3380
試驗力KN 100
試驗機精度 1級
試驗力測力范圍 0.4%—99%F.S
試驗力分辨率 1/300000全程不分檔,全程分辨率不變
試驗速度 0-300mm/min
拉伸試驗行程mm 650
試驗寬度mm 400
位移分辨率mm 0.01
電源電壓 交流220V 50Hz
主機尺寸mm 780×650×1950mm
主機重量kg 400