一、產(chǎn)品概述
HRSR膜厚傳感器提供半導體復雜膜層在線(xiàn)量測解決方案。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 超精密厚度測量，滿(mǎn)足5μm-800um的厚度監測 ；
■ 可測量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；
■ 對惡劣的工業(yè)環(huán)境適應性高 ；
■ 對熱、濕或振動(dòng)不敏感；
■ 采樣速率大于3KHz。
三、測量原理
技術(shù)參數
武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專(zhuān)業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設備研發(fā)、制造與銷(xiāo)售的企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗的專(zhuān)家聯(lián)合創(chuàng )辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國內橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團隊。
公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng )新示范區，立足光谷，面向，為科研和工業(yè)用戶(hù)提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。
產(chǎn)品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽(yáng)能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。
