一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺，兼容6到12寸樣品，可以對整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準確測量薄膜厚度、光學(xué)常數等信息，并對于膜厚均勻性做出評價(jià)。
■ 光學(xué)薄膜測量解決方案；
■ 非接觸、非破壞測量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；
■ 膜厚重復性測量精度：0.02nm
■ 全自動(dòng)測量，測量點(diǎn)數跟位置在Recipe中可根據需要編輯
■ 采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋紫外可見(jiàn)光到近紅外范圍；
■ 采用光機電高度整合一體化設計，體積小，操作簡(jiǎn)便；
■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；
■ 配置強大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線(xiàn)擬合分析法分析薄膜的物理參數信息；
三、產(chǎn)品應用
廣泛應用于各種介質(zhì)保護膜、有機薄膜、無(wú)機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。
技術(shù)參數
