一、產(chǎn)品概述
SR系列膜厚傳感器提供快速、穩定的膜厚在線(xiàn)量測解決方案。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 操作簡(jiǎn)便、小巧易安裝；
■ 高速、高分辨率；
■ 多款定制測頭滿(mǎn)足多場(chǎng)景需求；
■ 寬光譜涵蓋多膜厚需求應用；
■ 適用在線(xiàn)膜厚量測與質(zhì)量評估；
■ 寬光譜實(shí)現多應用場(chǎng)景需求。
三、測量原理
技術(shù)參數
*1：用玻璃的折射率1.5計算
*2：用硅的折射率3.67計算
*3：測量500 nmSiO2厚度的1σ
*4：測量厚度大于30µm的Si膜的1σ
武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專(zhuān)業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設備研發(fā)、制造與銷(xiāo)售的企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗的專(zhuān)家聯(lián)合創(chuàng )辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國內橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團隊。
公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng )新示范區，立足光谷，面向，為科研和工業(yè)用戶(hù)提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。
產(chǎn)品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽(yáng)能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。
