FR1000系列超高純單級減壓閥

FR1000 在半導體和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調節過(guò)程. 低到中等流量，這個(gè)系列的閥門(mén)在閥歧管箱，煤氣柜，和其他半導體制造等行業(yè)非常廣泛的應用

Veriflo部門(mén)的FR1000系列調節閥是非束縛隔膜的減壓閥， 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導致在一個(gè)穩定的流量和下游系統使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制，和許多半導體制造中的應用.
標準的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過(guò)濾促進(jìn)壽命長(cháng)性能的同時(shí)，金屬對金屬密封膜片以獲得高度密封性。
FR1000提供相同的質(zhì)量、穩定性和性能水平的派克產(chǎn)品的預期，在一個(gè)高度競爭的價(jià)格點(diǎn).新生產(chǎn)線(xiàn)補充了我們現有的，保費qr4000和hf1200系列穩壓器，和組合，將廣泛應用在半導體制造中的應用。

市場(chǎng)：
? 半導體制造
? 天然氣公司

特點(diǎn)/好處：
? 金屬-金屬膜片密封實(shí)現泄漏完整性
? 制造超高純度氣體輸送應用
? 10英寸RA表面光潔度
? 鈍化和電解拋光
? 綜合過(guò)濾
? 標準hastelloy® 膜片

應用：
? 工具掛鉤
? 閥門(mén)歧管箱
? 處理氣體柜
? “使用點(diǎn)”壓力調節