產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TSK521系列中量程流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調節閥和放大電路組成,它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成,其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,然后與設定的信號進(jìn)行比較,用所得的差值去驅動(dòng)控制調節閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響,廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學(xué)化工實(shí)驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動(dòng)力等各領(lǐng)域。
技術(shù)特點(diǎn)
1、采用熱式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡(jiǎn)易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,滿(mǎn)量程可達300ln/min
5、預熱時(shí)間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過(guò)二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊,操作簡(jiǎn)單。
7、可直接與上位機連接,實(shí)現組網(wǎng),便于操作。