Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡
【特點(diǎn)與應用】
實(shí)時(shí)成分信息:同步掃描獲取多種信號時(shí)執行能譜分析,實(shí)時(shí)檢測形貌與元素信息;
成像平臺即時(shí)可用:只需關(guān)注數據采集,不必憂(yōu)慮電鏡條件設置;
更快獲得數據:多種成像和掃描策略,優(yōu)化圖像采集效果并提升系統處理能力;
靈活的樣品臺設計:全開(kāi)門(mén)式設計,大樣品可輕松加載到樣品倉內,樣品10 kg;
的成像性能:提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應。
【技術(shù)參數】
發(fā)射源:預對中鎢燈絲
分辨率:
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);8.0 nm@ 3 kV(SE)
高真空下減速模式
7.0 nm@ 3 kV(BSE)
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);4.0 nm@ 3 kV(BSE);10 nm@ 3 kV(SE)
放大倍數:5 ~ 1,000,000×(寶麗來(lái)相紙放大)
加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV
探針電流范圍:可達到2 μA,連續可調
低真空范圍:高達150 Pa
X-Ray工作距離:10 mm,EDS檢出角:35°
樣品室:內寬280 mm,端口10個(gè)
樣品臺:五軸全自動(dòng)馬達驅動(dòng)
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o (連續旋轉)
樣品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
樣品承重 10 kg
探測器系統:
高真空二次電子探測器ETD
可伸縮式背散射探測器BSED
樣品室內紅外相機CCD
圖像導航彩色光學(xué)相機Nav-Cam+™
具有ChemiSEM技術(shù)的TrueSight X EDS 探測器
控制系統:
操作系統:Windows 10
圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
支持用戶(hù)自定義的GUI,可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能