氯硅烷中組分分析檢測方案氣相色譜儀

時(shí)間：2022/8/23閱讀：85

氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測系統。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進(jìn)樣，并裝有液體進(jìn)樣氣化室，兼分析液態(tài)氯硅烷。

1.氣態(tài)氯硅烷組分分析的方法原理 氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測系統。本方法采用六通閥進(jìn)樣，并裝有液體進(jìn)樣氣化室，兼分析液態(tài)氯硅烷。

2.適用范圍 適用于氣態(tài)氯硅烷組分分析

3.分析依據的標準 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定氣相色譜法

4.氣態(tài)氯硅烷組分分析氣相色譜描述

4.1. 用途氣態(tài)氯硅烷組分分析，如二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。

4.2. 儀器型號北京普瑞儀器有限公司GC-9280型氣相色譜儀

4.3. 系統配置描述本方案配置了雙閥進(jìn)樣口，雙液體進(jìn)樣口，兩閥四柱，2 個(gè) TCD 檢測器等組成。

5. 技術(shù)參數

電源	AC220V±10% 50Hz 2200W
工作環(huán)境	環(huán)境溫度：5～35℃，相對濕度：≤85％，室內無(wú)腐蝕性氣體，工作臺平穩無(wú)振動(dòng)，周?chē)鸁o(wú)強磁場(chǎng)存在
相關(guān)配件	檢測器（根據用戶(hù)需求搭配）	氫火焰離子化檢測器（FID）熱導池檢測器（TCD）電子捕獲檢測器（ECD）火焰光度檢測器（FPD）氮磷檢測器(NPD)
相關(guān)配件	自動(dòng)進(jìn)樣器（選配）	島津AOC-20i HTA公司的HT系列高效氣相液體自動(dòng)進(jìn)樣器
柱溫箱	爐膛尺寸	280×300×180mm
	溫度范圍	室溫+5~400℃
	溫度設定	1˚C；程序設定升溫速率0.1˚C
	色譜柱溫度穩定性	當環(huán)境溫度變化1˚C時(shí)，為0.01˚C
	程升階數	16階
	程升速率	0.1℃-40℃/min（增量0.1℃）
氫火焰離子化檢測器（FID）	操控溫度	400℃
	檢測限	≤5×10^-12g/s [n-C16]
	漂移	≤5×10^-13A/30min
	噪音	≤2×10^-13A
	動(dòng)態(tài)線(xiàn)性范圍	≥10⁷
熱導池檢測器（TCD）	操控溫度	400℃
	靈敏度	≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯]
	漂移	≤100uV/30mi
	噪音	≤20uV
	動(dòng)態(tài)線(xiàn)性范圍	≥10⁴

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