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產(chǎn)品型號H30_UVL_VUV
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2022-08-26 09:53:12瀏覽次數:504次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)H30-UVL是一款FUV遠紫外單色儀,其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測器平場(chǎng)攝譜模式下工作。其采用非常緊湊和的光學(xué)設計,基于的單一全息像差校正環(huán)形光柵,可以獲得了非常好的圖像質(zhì)量和*的光通量。
H30-UVL 是基于EUV到UV波段范圍特別設計的一款工作在真空環(huán)境之中單色儀,其可以匹配狹縫-狹縫或者狹縫-CCD進(jìn)行工作。
H30-UVL是采用全息變間距VLS技術(shù)的單個(gè)環(huán)形像差校正光柵的單色儀。 其在光學(xué)設計方面采用優(yōu)化它的光軸以及大的出口平面上的所有方向(25x10毫米校正平面),使其實(shí)現理想的一英寸陣列,從而很好地優(yōu)化了雜散光。同時(shí),采用單一光柵布局具可以將儀器中的光學(xué)數量減少到最小,增加其在EUV和FUV區域的光通量。
技術(shù)參數
光學(xué)結構 | Toroidal Grating Type IV VLS single optic |
焦距長(cháng)度 | 300 mm |
數字孔徑 | f/6 |
光柵密度 | 1200 gr/mm : 50-300 nm |
光學(xué)鍍膜 | MgF2 optimized at 121 nm standard or Pt option |
光學(xué)入射角 | 70° |
線(xiàn)色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
驅動(dòng)方式 | Fast worm drive |
最小步距 | better than 0.2 nm |
真空度 | 5 10-6 mbar (HV version) 5 10-8 mbar (UHV version) |
泵法蘭接口 | DN63 CF |
入口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) |
出口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) or Adjustable CCD port |
入口法蘭 | DN40 KF (DN40 CF) |
出口法蘭 | DN40 KF for slit version (DN40 CF) DN100CF for CCD version |
通訊方式 | Built-in USB2, no additional controller |
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