一、技術(shù)特點(diǎn)
CV-3200系列是在Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測量?jì)x。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡,以實(shí)現高精度和高分辨力。與傳統型號相比,新測臂使Z1軸測量范圍增大了10mm同時(shí)減少了工件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件,單此接觸就能完成測臂的裝卸,提高了易用性。
二、測量項目
各種類(lèi)型工件表面的線(xiàn)要素、點(diǎn)要素,點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線(xiàn)與線(xiàn)的距離,各要素的位置度包括:距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進(jìn)行直線(xiàn)度分析,凸度分析等。
三、技術(shù)參數及配置
項目 | CV-3200S4 |
X軸(橫臂) | 測量范圍 | 100mm |
直線(xiàn)度 | 0.8μm/100mm,2μm/200mm 當X軸在水平方向上 |
測量速度 | 0.02-5mm/s |
驅動(dòng)速度 | 80mm/s |
光柵分辨率 | 0.05µm |
指示精度 | ±(1+0.01L)μm L:為驅動(dòng)長(cháng)度(mm) |
測量方向 | 向前/向后 |
傾斜范圍 | ±45° |
測量方法 | 反射式光學(xué)尺 |
Z1軸(檢測器) | 測量范圍 | ±25mm |
分辨率 | 0.2µm |
測量方法 | 光學(xué)尺 |
指示精度 | ±(1.6+|7H|/12) µm±(2+4H/100)μm H:為水平位置上的測量高度 |
指測針上/下運動(dòng) | 弧形運動(dòng) |
測針?lè )较?/span> | 向上/向下 |
測針抬起方式 | 自動(dòng)或手動(dòng) |
測力 | 30mN |
爬坡角度 | 上升77°下降83° |
標配測針 | 測針類(lèi)型 | 硬質(zhì)合金針尖 |
測針半徑 | 25 µm |
Z2軸(立柱) | 測量高度 | 300mm |
分辨率 | 1 µm |
測量方法 | ABSOLUTE光學(xué)尺 |
運動(dòng)速度 | 0-20mm/s |
儀器平臺及工裝夾具 | 花崗巖基座 | 600X450 |
X、Y軸移動(dòng)平臺 | 130*100mm |
重量 | 主機 | 140kg |
控制箱 | 14kg |
搖控箱 | 0.9kg |
環(huán)境要求 | 氣壓 | 0.4MPa |
耗氣量 | 30L/min |
電源 | 100-240VAC ±10%, 50/60Hz |
環(huán)境 | 溫度:10~30℃;相對濕度:<85% |