FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 返回列表頁(yè)

FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測量和過(guò)程控制而設計的。這  系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量

  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補償,保證了傳

  - 感器的高精度計量

  - 在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

  - 傳感器的零點(diǎn)穩定度高

  - 全量程高穩定性

  - 全量程高精度和優(yōu)良的重復性

  - 低功耗

  - 低壓損                                                   

  - 響應時(shí)間快

主要參數：