通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和*進(jìn)的測量能力實(shí)現**測量
奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列采用了當前先*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠校正光學(xué)系統。因此，觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*全消除，以確保實(shí)現對微小細節的高*度測量
| | 為了進(jìn)一步保證測量精度，采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩定性，使測量可到達亞微米水平，同時(shí)確保更大程度地降低誤差。 |
花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
作為高度測量的先鋒，繼續提供簡(jiǎn)單易操作的高*度3軸測量
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共聚焦自動(dòng)對焦系統光路 | 隨著(zhù)現代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高*度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高*度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開(kāi)發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。 |
嚴格的可追溯系統確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的**度。并且在安裝系統時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。
測量顯微鏡跟蹤系統
設計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 短測量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測量需求。
? 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉樣品來(lái)補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時(shí)，效率不高。
? 由于可測量的范圍窄，無(wú)法將數量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現一*性同時(shí)測量。
[STM7解決方案]
共有四種*特的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會(huì )適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統可以在粗調和微調之間實(shí)現快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著(zhù)X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長(cháng)的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著(zhù)可以不旋轉樣品就實(shí)現大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀(guān)察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統的測量顯微鏡只可以專(zhuān)y測量物鏡或專(zhuān)用金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿(mǎn)足多種觀(guān)察要求。
[STM7解決方案]
可以通過(guò)安裝一個(gè)測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉盤(pán)后，便可使用金相物鏡。這意味著(zhù)， STM7將金相光學(xué)系統和測量光學(xué)系統同時(shí)結合在一臺測量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)l是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶(hù)選擇更佳的觀(guān)察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長(cháng)的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀(guān)察到較大的視場(chǎng)。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀(guān)察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀(guān)察之外還可以對應暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀(guān)察。
手動(dòng)和電動(dòng)調焦模式的選擇
包括手動(dòng)調焦和電動(dòng)調焦兩個(gè)系列
對于Z軸的上下調焦，有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請根據樣品和測量?jì)热葸x擇符合您需求的機型，而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線(xiàn)性標尺，各種型號STM7都可以對應3軸測量。
| | 手動(dòng)Z軸調焦機型提供了**的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶(hù)提供了方便。 |
| 電動(dòng)Z軸調焦機型 | 使用電動(dòng)調焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。 |
一個(gè)具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導致無(wú)法*效率地進(jìn)行測量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì )發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數器、照明控制、調焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提*效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
| 用于手動(dòng)Z軸調焦機型：
STM7-HS手動(dòng)操作裝置 | 用于電動(dòng)Z軸調焦機型：
STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置 |
控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以更大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀(guān)察和測量效率的光源管理器
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 傳統測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節方式不能實(shí)現光強的定量控制。這樣每次測量時(shí)的光強無(wú)法保持*，導致測量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統測量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調節光強，這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數字式顯示
| | 奧林巴斯STM7測量顯微鏡能夠實(shí)現光強的定量數字化顯示，保證了能在始終*的照明條件下實(shí)施觀(guān)察。 |
物鏡切換時(shí)，無(wú)需手動(dòng)調節光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤(pán)配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤(pán)會(huì )自動(dòng)識別目前使用的物鏡，結合光源管理器的預設值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后，可以自動(dòng)調節光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調節光強的操作，現在就可以省略了。
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5倍
強度50 |
20X
強度70 |
100X
強度120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數器，確保能迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)。
[常見(jiàn)問(wèn)題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時(shí)，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當前狀態(tài)的計數器
計數器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現對設備當前設定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的*小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿(mǎn)足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計數器
無(wú)l是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數器都可以根據用戶(hù)的使用狀況和使用習慣放置在適合位置。當用戶(hù)站著(zhù)進(jìn)行測量時(shí)，可以將計數器安裝在和觀(guān)察位置大致相同高度的鏡架一側，以方便輕松的觀(guān)察和檢查結果。當用戶(hù)通過(guò)數碼相機在顯示器上進(jìn)行觀(guān)察和測量，或使用電動(dòng)Z軸調焦機型時(shí)，只需將計數器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。
高度測量：聚焦導航系統
實(shí)現更快、更簡(jiǎn)單、更**的高度測量
[[常見(jiàn)問(wèn)題]
進(jìn)行目視測量時(shí)，不同的操作者會(huì )測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時(shí)，效率低下。
[STM7解決方案]
具有**的重復性、簡(jiǎn)單且高度**的聚焦系統
通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導航系統實(shí)現了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀(guān)察進(jìn)行高度測量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*全合焦的圖像，也會(huì )出現微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統，只需匹配標記便可進(jìn)行測量，因此減少了操作者的主觀(guān)性對測量結果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導航系統
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焦點(diǎn)下方 |
焦點(diǎn)位置 |
焦點(diǎn)上方 |
自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢成就快速、高**的高度測量
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 進(jìn)行目視測量時(shí)，不同的操作者得出的高度測量結果也會(huì )不一樣。
? 手動(dòng)高度測量需要操作者反復進(jìn)行移動(dòng)載物臺，使用旋鈕調焦的操作，這使測量既耗時(shí)又低效。
? 很難對微小的物體聚焦，比如引線(xiàn)。
[STM7解決方案]
快速、**的聚焦和不受操作者主觀(guān)影響的測量
奧林巴斯開(kāi)發(fā)了STM7系列專(zhuān)用的自動(dòng)聚焦單元，該單元在實(shí)現快速聚焦的同時(shí)，保zhang了**的對焦重復性。因此，無(wú)l操作者的經(jīng)驗如何，均可以在很短的時(shí)間內實(shí)現高度**的高度測量。無(wú)l操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7專(zhuān)用自動(dòng)對焦單元均可以在z短時(shí)間內實(shí)現高度**的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現穩定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線(xiàn)的自動(dòng)對焦。
單次對焦模式
執行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場(chǎng)中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì )隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對焦，即使在移動(dòng)工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀(guān)察，從而**地提高了Z軸的測量效率。
拓寬了測量觀(guān)察范圍的配件
編碼物鏡轉換器
| | 將編碼物鏡轉盤(pán)與數碼照相機配套使用可以在觀(guān)察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準值和光強連動(dòng)調整設置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
| | 正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線(xiàn)的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開(kāi)關(guān)
| | 實(shí)現了不需要用手進(jìn)行數據傳輸，使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
| | 具有小型，輕便，使用壽命長(cháng)，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性?xún)r(jià)比的LED照明單元也不會(huì )發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置
| | SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇更佳的照明。 |
旋轉載物臺
使用微調旋鈕可以輕松實(shí)現對樣品的平行對齊。
| STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物臺 | STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物臺 | STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物臺 |
測量支持系統
即使對復雜形狀也能實(shí)現更快、更簡(jiǎn)單、更**的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數據和圖像來(lái)說(shuō)，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高**、高復雜性的測量，奧林巴斯測量軟件可以和數碼照相機結合使用。
STM7規格
| | 小型手動(dòng)鏡架
STM7-SF | 小型電動(dòng)鏡架
STM7-SFA | 中型手動(dòng)鏡架
STM7-MF | 中型電動(dòng)鏡架
STM7-MAF | 大型手動(dòng)鏡架
STM7-LF | 大型鏡架
STM7-LFA |
| 顯微鏡
鏡架 |
聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm |
| *大的測量高度 | 120 mm（配備測量物鏡）
175 mm（配備金相物鏡） | 90 mm（配備測量物鏡）
145 mm*1（配備金相物鏡） |
| Z軸測量分辨率 | 0.1 μm |
| Z軸驅動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（*大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（z*大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（*大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) |
| 照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 |
| 鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) |
| 物鏡 | 測量顯微鏡用 | MM6-OB系列 |
| 金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 |
| 目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線(xiàn), FN 22), MM6-O C10X (FN 22) |
| 載物臺 | 測量范圍 | STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm | STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm | STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm |
| 測量**度
(L：測量長(cháng)度) | STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm |
| **度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg | 10 kg | 15 kg |
| 計數器顯示 | 軸數 | 3軸 |
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 |
| *小分辨率 | 0.1 μm |
| 外形尺寸（寬×長(cháng)×高）（mm） | 466 x 583
x651 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 |
| 重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg |
| 額定功率 | 100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 物鏡 |
| 測量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場(chǎng) | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長(cháng)工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 |
| MPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)
長(cháng)工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |
員1.png)
QQ:2568841715
