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    Prisma & Prisma EX多功能環(huán)境真空鎢燈絲分析掃描電子顯微鏡

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    憑借過(guò)去 60 年的技術(shù)創(chuàng )新歷史和業(yè)內， FEI 成為了透射電子顯微鏡 (TEM)、 掃描電子顯微鏡 (SEM)、整合了 SEM 與聚焦離子束 (FIB) 的 DualBeam™ 儀器和 用于精密高速切割與加工的專(zhuān)用聚焦離子束儀器的性能標準。 FEI 成像系統在三維 表征、分析和修改/原型設計領(lǐng)域實(shí)現了亞埃(埃:十分之一納米)級分辨率。

    詳細介紹

    Prisma & Prisma EX多功能環(huán)境真空鎢燈絲分析掃描電子顯微鏡

    • 一款真正多用途實(shí)驗室用性能全面、易操作的SEM鎢燈絲掃描電子顯微鏡
    • 具有的ESEM™環(huán)境真空模式
    • 高真空、低真空和ESEM™環(huán)境真空三種真空模式，適合分析泛的樣品，樣品范圍包括導電材料、不導電材料、脫氣、未鍍膜或其他不適用真空的樣品。
    • 一系列集成的實(shí)時(shí)分析軟件來(lái)完成動(dòng)態(tài)的實(shí)驗檢測分析。
    • 低真空和ESEM環(huán)境真空能夠滿(mǎn)足非導電材料和含稅樣品的檢測分析
    • 原位功能使即使是絕緣的或高溫的樣品也能獲得可靠的分析結果。
    • 支持掃描前的預設置，具有導航和SmartScanTM功能的相機提高了工作效率、數據質(zhì)量和滿(mǎn)足更高要求的使用要求。
    • -165°C to 1400°C溫度范圍下的原位分析
    • 加速電壓: 200 V - 30 kV
    • 電子放大倍數: 6x – 1,000,000x (可同時(shí)采集和顯示四幅圖像)
    • 探測器：高真空模式Everhart-Thomley二次電子探測器(E-T SED)；低真空SE探測器（LVD）；ESEM環(huán)境真空模式氣體二次電子探測器（GESD）；樣品室紅外CCD相機
    • 真空系統：1個(gè)250L/s渦輪分子泵，1個(gè)旋轉機械泵；的“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統；排氣時(shí)間≤3.5min到高真空，≤4.5min到ESEM真空/低真空；可選CryoCleaner冷阱；可選升級到無(wú)油滾動(dòng)/干式PVPs
    • 樣品室：

    o 內徑 340 mm

    o 分析工作距離 10 mm

    o 12個(gè)附件接口

    o EDS采集角: 35°

    • 分辨率：

    高真空模式

    • 3.0 nm @ 30 kV (SE)
    • 4.0 nm @ 30 kV (BSE)*
    • 8.0 nm @ 3 kV (SE)

    高真空下減速模式

    • 7.0 nm @ 3 kV

    低真空模式

    • 3.0 nm @ 30 kV (SE)
    • 4.0 nm @ 30 kV (BSE)
    • 10 nm @ 3 kV (SE)
    • ESEM環(huán)境真空
      • 3.0 nm @ 30 kV (SE)

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