青島森泉光電有限公司
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更新時(shí)間：2023-12-10 10:39:22瀏覽次數：209次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)STACISIII主動(dòng)隔振系統主動(dòng)光學(xué)平臺。采用的慣性振動(dòng)傳感器，復雜的控制算法，和的壓電致動(dòng)器。STACIS通過(guò)連續測量地板活動(dòng)、擴大和收縮壓電致動(dòng)器過(guò)濾地板振動(dòng)來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動(dòng)。初被設計用于半導體工廠(chǎng)的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振，STACIS現在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，包括但不局限于半導體晶圓廠(chǎng)、失效分析實(shí)驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設備
STACIS®III主動(dòng)隔振系統主動(dòng)光學(xué)平臺
STACIS®III是的主動(dòng)振動(dòng)隔離系統。采用的慣性振動(dòng)傳感器，復雜的控制算法，和的壓電致動(dòng)器。STACIS通過(guò)連續測量地板活動(dòng)、擴大和收縮壓電致動(dòng)器過(guò)濾地板振動(dòng)來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動(dòng)。
初被設計用于半導體工廠(chǎng)的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振，STACIS現在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，包括但不局限于半導體晶圓廠(chǎng)、失效分析實(shí)驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設備
Stacis III包括一個(gè)新型改進(jìn)的數字控制器－DC-2020。 它搭載全新高效的雙核處理囂， 前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型控制系統為用戶(hù)提供了一個(gè)現代 的、 易于使用的圖形用戶(hù)界面（GU幣。
Stacis III在世界各地有數百個(gè)成功安裝案例， 對于大部分振動(dòng)敏感儀器來(lái)說(shuō)都是理想的振動(dòng)清除系統。
STACIS®III主動(dòng)隔振系統主動(dòng)光學(xué)平臺STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠， 且不存在氣浮隔振系統離不開(kāi)氣源的局限 性． 它元氣浮支撐， 并且與主動(dòng)的氣浮系統不同， STACIS可以放置在具有內部主動(dòng)空 氣隔離系統的設備下面， 且兩個(gè)隔振系統相互兼容．
設計有*的通信串口和專(zhuān)有high-force壓電技術(shù)導致其具有大的主動(dòng)帶寬0.6赫茲到150赫茲， 以及從2Hz開(kāi)始主動(dòng)振動(dòng)消除性能可達至90%。
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