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    蘇州德匯科學(xué)儀器有限公司


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    日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

    詳細介紹

    \
    日立高新高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡SU3500, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

    通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
    日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統, 可實(shí)現實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能”＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1。
    它為觀(guān)察和分析提出了嶄新的標準。
    *1：自選

    特點(diǎn)
    低加速電壓觀(guān)察時(shí)分辨率更高，可更好地觀(guān)察樣品最表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞
    全新設計的電子光學(xué)系統和信號處理技術(shù)實(shí)現了高速掃描和低噪音的觀(guān)察
    和以前的常規掃描電子顯微鏡相比＊2，自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
    具有在低真空時(shí)可以非常好地觀(guān)察樣品最表面的細微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）”＊4
    具有實(shí)現了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能”＊4
    （*2）：和日立SEM S-3400N相比
    （*3）：根據觀(guān)察條件的不同，時(shí)間會(huì )有變動(dòng)
    （*4）：自選

    規格

    項目

    描述
    二次電子分辨率 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
    7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
    背散射電子分辨率 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
    10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
    放大倍率 5 - 300,000倍（底片倍率＊5）
    7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6）
    加速電壓 0.3 - 30kV
    可變壓力范圍 6 - 650Pa
    樣品尺寸 直徑 200mm
    樣品臺 X 0 - 100mm
    Y 0 - 50mm
    Z 5 - 65mm
    R 360°
    T -20° - 90°
    可觀(guān)察區域 直徑 130mm （旋轉并用）
    樣品高度 80mm（WD=10mm）
    馬達臺 5軸標配
    電子光學(xué)系統 電子槍 預對中的鎢燈絲
    物鏡光闌 4孔可動(dòng)光闌
    探檢測器 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
    高靈敏度半導體背散射電子檢測器
    EDX分析 WD 10mm（取出角35°）
    圖像顯示 操作系統 Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知）
    圖像顯示模式 全屏模式（1,280 × 960 像素）
    小屏模式（800 × 600 像素）
    雙圖像顯示（800 × 600 像素）
    四屏幕顯示（640 × 480像素）
    信號混合模式
    排氣系統 操作 全自動(dòng)排氣
    渦輪分子泵 210升/秒 × 1
    機械泵 135L/min（162L/min，60Hz）× 1

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