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    上海環(huán)競試驗設備廠(chǎng)


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    無(wú)塵潔凈烤箱HSCOL-2D系列

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

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    更新時(shí)間:2024-12-18 12:41:59瀏覽次數:43次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    無(wú)塵潔凈烤箱特點(diǎn):本公司HSCOL-2D系列無(wú)塵烤箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風(fēng)循環(huán)方式

    詳細介紹

    無(wú)塵潔凈烤箱特點(diǎn):

    本公司HSCOL-2D系列無(wú)塵烤箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構,溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到佳溫度控制精度。無(wú)塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    無(wú)塵潔凈烤箱詳細資料:

    一.特點(diǎn):
    1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 10
    2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
    3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
    4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設計)方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 10,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))

    二.執行與滿(mǎn)足標準
    1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術(shù)條件
    2.GB2423.2-1989試驗B

    三.潔凈烤箱用途
    無(wú)塵適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
    無(wú)塵潔凈烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    四.潔凈烤箱技術(shù)參數
    1.名稱(chēng)及型號:無(wú)塵潔凈烤箱
    2.主要技術(shù)指標:
    2.1無(wú)塵等級:Class 10;
    2.2溫度范圍: 60~ +300℃;
    2.3溫度均勻度:200℃±3℃、300℃±4℃;
    2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
    2.5溫控精度:±0.1℃;
    2.6潔凈烤箱擱板為活動(dòng)形式。(兩箱式)
    2.7電源:380v , 50Hz,12Kw

    3、潔凈烤箱箱體結構:
    3.1潔凈烤箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統組裝而成,結構合理,外觀(guān)美觀(guān)大方;
    3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;
    3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
    3.4內膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
    3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

    4、溫控系統
    4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自動(dòng)演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。;
    4.2訊號來(lái)源:采日制進(jìn)口CA感應棒±0.5%。
    4.3輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號輸出。

    5、完善的安全保護措施:
    漏電斷路器、
    控制線(xiàn)路保險絲裝置、
    超溫防止保護裝置、
    電熱過(guò)電流保護裝置、
    馬達過(guò)電流保護、
    機臺異常蜂鳴器警示
    逆向防止器、
    門(mén)面安全開(kāi)關(guān)

    6、選購設備:
    6.1 可程式溫控器
    6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
    6.3三色指示燈
    6.4烘烤架

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