VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過(guò)10多年的不斷發(fā)展,TESCAN已經(jīng)成功開(kāi)發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新一代的VEGA給用戶(hù)帶了的技術(shù)優(yōu)勢,包括改進(jìn)的高性能電子設備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統,內置的編程軟件等,使VEGA系列產(chǎn)品保持著(zhù)非常高的性?xún)r(jià)比。
LaB6發(fā)射源
TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6(六硼化鑭)作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括:穩定的電子發(fā)射源(與場(chǎng)發(fā)射電子源相比),在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流(與鎢燈絲電子源相比)。這就意味著(zhù)在整個(gè)范圍的加速電壓和很長(cháng)的使用壽命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?;谄浞浅8叩陌l(fā)射電流,LaB6是需要大電子束流應用領(lǐng)域的正確選擇。
現代電子光路
的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式
以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"
透鏡與線(xiàn)圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達到20ns/像素,并減少了動(dòng)態(tài)扭曲效應
結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
鏡筒設計提供了全自動(dòng)電子光路設置,鏡筒不含機械對中結構
3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像
檢修方便
只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長(cháng)時(shí)間處于狀態(tài)。每個(gè)細節設計得很仔細,使得儀器的大化,操作最簡(jiǎn)化。
自動(dòng)操作
通過(guò)一次點(diǎn)擊就可以進(jìn)行自動(dòng)燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動(dòng)程序減少了用戶(hù)的操作時(shí)間,并提供了操作的自動(dòng)導航與自動(dòng)化分析。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言(Python)用戶(hù)可以進(jìn)入軟件大多數功能,包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)也可以自定義軟件的自動(dòng)操作。
用戶(hù)界面友好的軟件
用戶(hù)界面有各種語(yǔ)言版本
多用戶(hù)界面(包括了EasySEMTM模式)不同賬戶(hù)的權利使常規分析過(guò)程更快
圖像文件管理與報告生成
內置的自動(dòng)系統檢查
通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實(shí)現電鏡遠程診斷
模塊化軟件體系結構
標準的軟件模塊包括了:測量工具、圖像處理、對象區域等
選配軟件包括了:顆粒度分析、三維表面重構等