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    北京華儀宏盛技術(shù)有限公司


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    雙束聚焦離子束掃描電鏡 LYRA

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    產(chǎn)品型號BJ230014

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地北京市

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    更新時(shí)間:2024-10-29 11:28:30瀏覽次數:73次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    雙束聚焦離子束掃描電鏡 LYRA

    詳細介紹

       基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM與FIB良好結合的一體化系統,能夠滿(mǎn)足高要求客戶(hù)的需要。

      新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶(hù)帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統,內置的編程軟件等,都使LYRA3保持著(zhù)很高的性?xún)r(jià)比。

      LYRA3系列的設計適用于各種各樣的SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應用的強大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

      現代電子光路

      的大視野光路設計提供各種工作與顯示模式

      以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉換器”

      結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束

      全自動(dòng)鏡筒設置與對中

      成像速度很快

      3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像

      可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)

      高性能離子光路

      高性能CANION FIB設備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)

      可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設備在成像與銑削過(guò)程中依然保持很高的分辨率

      聚焦離子束裝置

      裝有兩套差異泵的離子束裝置使離子散射效應較更低

      馬達驅動(dòng)高重復性光闌轉換器

      電子束遮沒(méi)裝置與法拉第筒作為標配

      同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像

      FIB的操作軟件集成在SEM軟件

      軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數

      微/納米加工

      離子束光刻

      維修簡(jiǎn)單

      只需要很短的停機檢修時(shí)間,就能使得電鏡長(cháng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細節設計得非常仔細,使得儀器的大化,操作最簡(jiǎn)化。

      自動(dòng)程序

      自動(dòng)設置和許多其他的自動(dòng)化操作是設備的特點(diǎn)之一。除此之外,電鏡還有樣品臺自動(dòng)導航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言 (Python)可進(jìn)入操作軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。

      用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具

      多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面

      圖像管理與報告生成

      內置的系統檢查與系統診斷

      網(wǎng)絡(luò )操作與遠程進(jìn)入/診斷

      模塊化的軟件結構

      標準的軟件模塊包括:自動(dòng)離子束控制、電子束寫(xiě)入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預定義FIB工作模式等軟件工具

      可選軟件包括了:顆粒度分析標準版/專(zhuān)家版、3維表面重建等模塊

      電子束寫(xiě)入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強大工具

      可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續SEM圖像,三維重構與三維可視化

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