一個(gè)集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3,提供了超高離子束束流(束流為2µA),其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時(shí)間或不可能進(jìn)行的需要刻蝕的材料,FERA3型儀器是一個(gè)不錯的選擇。
新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶(hù)提供了的技術(shù)優(yōu)勢,例如:改進(jìn)的高性能電子設備使圖像采集得速度更快,帶有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超高速掃描系統,內置的編程軟件等。
FERA3的設計適應各種各樣的SEM應用與當今研究和產(chǎn)業(yè)的需求,其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為優(yōu)秀的分析工具。
現代電子光路
的三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設計提供了許多工作與顯示模式,體現了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
結合了完善的電子光學(xué)設計軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
全自動(dòng)的電子光路設置與合軸
成像速度快
使用3維電子束技術(shù)可獲取實(shí)時(shí)立體圖像
三維導航
高性能離子光路
高性能的等離子i-FIB設備使切片和材料的刻蝕既快又精確
維修簡(jiǎn)單
現在保持電鏡處在優(yōu)秀的狀態(tài)很簡(jiǎn)單,只需要很短的停機時(shí)間。每個(gè)細節設計得很仔細,使得儀器的大化,操作最簡(jiǎn)化。
自動(dòng)操作
電鏡除了可以自動(dòng)化設置外,還可進(jìn)行聚焦、調節對比度/亮度等自動(dòng)操作。除此之外,電鏡還有樣品臺自動(dòng)導航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內置腳本語(yǔ)言(Python)可進(jìn)入軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以自定義自動(dòng)操作程序。
用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具
用戶(hù)界面友好的操作系統基于Windows™平臺,多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面
同時(shí)的FIB/SEM成像,易于操作
實(shí)時(shí)圖像支持多窗口模式,可自定義實(shí)時(shí)圖像參數
圖像處理,報告生成,在線(xiàn)與離線(xiàn)圖像處理
項目管理軟件
內置的自動(dòng)診斷(自檢)
TCP/IP遠程控制,網(wǎng)絡(luò )操作與遠程進(jìn)入/診斷
免費升級軟件