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    日立球差校正掃描透射電子顯微鏡HD-2700

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品介紹:HD-2700是一款200kV的場(chǎng)發(fā)射球差校正掃描透射電鏡。相比于普通的透射電鏡,HD-2700采用球差校正技術(shù),大大減小了透鏡球差對分辨率的影響,從而可以實(shí)現超高分辨率的觀(guān)察。同時(shí),HD

    詳細介紹

    主要特點(diǎn):

    高分辨觀(guān)察

    利用金顆粒保證0.144nm分辨率DF-STEM像(標準型)。

    大束流分析

    約為非校正的STEM探針電流的10倍,可以進(jìn)行高速、高靈敏度能譜分析,可以在更短的時(shí)間內獲得元素的面分布圖,使得檢測微量元素成為可能。
    簡(jiǎn)化的操作

    提供了專(zhuān)用的GUI自動(dòng)調節球差校正器

    整體的解決方案

    樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案,從制樣到數據獲得和最終分析

    多種評價(jià)和分析功能可選
    可同時(shí)獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像;可以配備ELV-2000型實(shí)時(shí)元素Mapping系統(DF-STEM像可以同時(shí)獲得);可以同時(shí)觀(guān)察DF-STEM像和衍射像;可以配備超微柱頭樣品桿進(jìn)行三維分析(360度旋轉)等。

    項目

    主要參數

    電子槍

    冷場(chǎng)或熱場(chǎng)發(fā)射電子槍

    加速電壓

    200kV、120kV*

     

    線(xiàn)分辨率

    0.144nm(標準型,配有球差、冷場(chǎng)或熱場(chǎng))

    0.136nm(高分辨型,配有球差、冷場(chǎng))

    0.204nm(標準型,配有熱場(chǎng),無(wú)球差)

    放大倍率

    200x - 10,000,000x

    圖像模式

    BF-STEM相襯度像(TE)、DF-STEM原子序數襯度像(ZC)、二次電子像(SE)、電子衍射花樣(可選)、特征X射線(xiàn)像(可選:EDX)、EELS(可選:ELV-2000)

    電子光學(xué)

    電子槍?zhuān)豪鋱?chǎng)或熱場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)瑑戎藐?yáng)極加熱器

    透鏡系統:兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡

    球差校正器:六極/傳輸 雙重(標準型和高分辨型)

    掃描線(xiàn)圈:兩級電磁線(xiàn)圈

    電位移:±1μm

    樣品桿

    側插式,X=Y=±1mm,Z=±0.4mm ,T=±30°(單傾樣品桿)


    應用領(lǐng)域:

    HD-2700作為一款場(chǎng)發(fā)射球差校正的掃描透射電鏡,不僅具有高分辨率的圖像觀(guān)察能力,同樣具有高空間分辨率的分析能力,配合EELS和EDS可以實(shí)現原子級元素的分析。HD-2700具有多種成像模式,可以滿(mǎn)足大部分樣品的觀(guān)察需求,其中日立*的SE成像模式可以獲得透射電鏡無(wú)法獲得的樣品表面的信息,同時(shí)又比普通掃描電鏡具有更高的分辨率,可以實(shí)現對樣品表面的高分辨觀(guān)察。      

     

    應用文章:

    [1] Ciston1, J., Brown2, H. G., D`Alfonso2, A. J., Koirala3, P., Ophus1, C., Lin3, Y., Suzuki4, Y., Inada5, H., Zhu6, Y. & Marks3, L. D. Surface determination through atomically resolved secondary electron imaging.Nature Communications,2005,6, 7358-7365.

    [2] Zhu1*, Y., Inada2, H., Nakamura2, K. & Wall1, J. Imaging single atoms using secondary electrons with an aberration-corrected electron microscope.Nature Materials,2009,8, 808-812.



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