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    思顯光電技術(shù)(上海)有限公司


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    光譜共焦位移傳感器

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    光譜共焦位移傳感器測量能力可滿(mǎn)足更多的測量需求1.THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器CDS-500光斑更小

    詳細介紹

    • 光譜共焦位移傳感器

      測量能力——可滿(mǎn)足更多的測量需求

      1.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500光斑更小。

      2.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 無(wú)平均化處理。

      3.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 可同時(shí)適應多種材料,且穩定測量。

      主要型號參數

      OP2-Fc

      安裝距離:11mm

      量程:±190

      線(xiàn)性度:±0.02%F.S.

      分辨率:10nm

      光斑:10um

      img

      OP3-Fc

      安裝距離:12.7mm

      量程:±550

      線(xiàn)性度:±0.02%F.S.

      分辨率:20nm

      光斑:12um

      img

      OP4-Fe

      安裝距離:19mm

      量程:±1700

      線(xiàn)性度:±0.02%F.S.

      分辨率:40nm

      光斑:20um

      img

      OP5-Fe

      安裝距離:30mm

      量程:±5000

      線(xiàn)性度:±0.02%F.S.

      分辨率:300nm

      光斑:25um

      img

      規格/測頭

      型號With CDS-500

       

      OP1

      OP2

      OP3

      OP4

      OP5

      安裝距離

      mm 

      8

      11

      12.7

      19

      30

      量程

      μm 

      ±55

      ±190

      ±550

      ±1700

      ±5000

      傾角

      deg 

      ±45°

      ±28°

      ±25°

      ±21°

      ±14°

      放大器型號

       

      Fc

      Fc

      Fc

      Fe

      Fe

      光斑尺寸

      μm 

      2

      10

      12

      20

      25

      位移測量

       

       

      分辨率(平均128次)

      nm 

      2

      5

      10

      20

      150

      精度

       

      ±0.02%F.S.

      ±0.02%F.S.

      ±0.02%F.S.

      ±0.02%F.S.

      ±0.02%F.S.

      厚度測量

       

       

      最小厚度測量

      μm 

      5

      12

      22

      66

      192

      厚度測量

      μm 

      100

      460

      1540

      4390

      14850

      長(cháng)度

      mm 

      208

      176

      176

      130.5

      145.5

      直徑

      mm 

      27/40

      27

      27

      27

      27

       

      規格/控制器

      型號

      CDS-500

      采樣頻率

      200 to 4500 points/sec 用戶(hù)可定義

      光源

      藍色激光

      測量模式

      位移/厚度

      通訊控制

      以太網(wǎng)

      編碼器 增量式(A/B項)

      同步I/O

      1 Trigger input(TTL)5V

      光纖連接器

      FC/APC

      兼容性

      兼容所有型號測頭

      電源/功耗

      24V DC 3A

      工作溫度

      5-40

      放置溫度

      -30-70

      相對濕度

      5%-80%無(wú)冷凝

      防護等級

      IP 40

       

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