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    BPG400 大氣壓至超高真空真空計

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    BPG400 大氣壓至超高真空真空計

    詳細介紹

    好處

    • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
    • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優(yōu)秀的重復性
    • 皮拉尼聯(lián)鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
    • 長(cháng)使用壽命氧化釔銥絲
    • 備有可選的圖形顯示器和現場(chǎng)總線(xiàn)接口
    • 高真空皮拉尼自動(dòng)調節，減少操作員的干預
    • 符合 RoHS 標準
    • 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    典型應用

    • 對半導體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測量
    • 工業(yè)鍍膜
    • 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

    規格

    類(lèi)型 BPG400
    測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5×10-10 … 1000
    精度  
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
    可重復性  
    10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
    除氣 (1)  
    p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
    壓力， bar (absolute) 2
    溫度  
    運行（環(huán)境） °C 0 … +50
    貯存 °C -20 … +70
    在法蘭處烘烤，有延伸件 °C 150
    在法蘭處烘烤，無(wú)延伸件 °C 80
    移除烘烤電子設備 °C 150
    電源電壓 +20 … +28
    輸出信號模擬  
    輸出信號 V 0 … +10
    測量范圍 V +0.774 … +10
    電壓與壓強 volts per decade 0.75
    錯誤信號 V 0.3 / 0.5
    最小負載電阻 k? 10
    接口（數字）(2) RS232C
    電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
    電纜長(cháng)度， (3) m (ft.) 100 (330)
    暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
    內部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
    重量 KF / CF g 285 / 550
    保護等級 IP30
    Profibus DP  
    波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
    地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    設定點(diǎn)繼電器： 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 60
    Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
    BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male
    DeviceNet™  
    協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
    數據率開(kāi)關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
    電纜長(cháng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
    電纜長(cháng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
    電纜長(cháng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
    MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
    數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
    模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
    技術(shù)規格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
    設備類(lèi)型 ''CG'' for combination gauge
    I / O 從屬傳訊 polling only
    設定點(diǎn)繼電器： 設定點(diǎn)數量 2
    設定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
    設定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
    設定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
    設定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 60
    DeviceNet™ 電源電壓 +11 … +25
    真空計電源電壓 +20 … +28
    DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
    BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male

    1）除氣期間準確性降低

    2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列和現場(chǎng)總線(xiàn)

    3）RS232C 操作 <>

    零件號

    BPG400
    零件號 明細
    353-500 BPG400 規管
    353-501 BPG400 規管
    353-502 BPG400 規管
    353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-505 復合真空規
    353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
    353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
    354-490 BPG400 備用傳感器
    354-491 BPG400 備用傳感器
    354-498 Spare electronic BPG400 without Display
    354-499 Spare electronic BPG400 with Display

    附件

    BPG400
    零件號 明細
    353-511 BPG400 24V電源
    353-510 100 mm sensor extension tube
    353-512 Baffle for BPG400
    211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

    備件

    BPG400
    零件號 明細
    354-490 BPG400 備用傳感器
    354-491 BPG400 備用傳感器
    354-498 Spare electronic BPG400 without Display
    354-499 Spare electronic BPG400 with Display

    數據表

    手冊

    手冊

    三維步驟文件

    其他文件

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