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    在線(xiàn)式X射線(xiàn)熒光分析儀

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    SMX-ILH的熱屏蔽技術(shù)可使熱基板在高達300?C下實(shí)時(shí)進(jìn)行X射線(xiàn)熒光數據采集，減少面板的停留時(shí)間，提高加工能力

    詳細介紹


    SMX-ILH的熱屏蔽技術(shù)可使熱基板在高達300?C下實(shí)時(shí)進(jìn)行X射線(xiàn)熒光數據采集，減少面板的停留時(shí)間，提高加工能力。由于采用一個(gè)專(zhuān)門(mén)設計的Z軸高度調節功能裝置，該系統能夠適應大型面板中經(jīng)常出現的平面性差異（弓起和卷曲）等問(wèn)題，從而進(jìn)一步提高了測量精度和結果，尤其是在較高的溫度下。


    • 成分和層厚分析
    • 材料選擇，薄層配方
    • 在線(xiàn)及離線(xiàn)過(guò)程控制
    • 良率管理


    應用領(lǐng)域：


    • 光伏制造過(guò)程
    • 微電子制造
    • 防腐蝕涂層
    • 熱障涂層
    • 能源（CIGS， CIS，電池）




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