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表面輪廓光學(xué)測量?jì)x微納米級微觀(guān)形貌測量,它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。
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表面輪廓光學(xué)測量?jì)x采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀(guān)察樣品表面形貌,也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀(guān)察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀(guān)察更加方便。
產(chǎn)品功能
1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
自動(dòng)拼接測量功能操作步驟
1.點(diǎn)擊XY復位,使得鏡頭復位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;
3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿(mǎn)足測量條件;
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度,找到干涉條紋;
5.設置好掃描方式和掃描范圍;
6.點(diǎn)擊選項圖標,確認自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤;
7.點(diǎn)擊多區域測量圖標,可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區域形狀;
8.根據被測物形狀和尺寸,"形狀”欄選擇“橢圓平面”,X和Y方向按需設置;
9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開(kāi)始”圖標,儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區域的對焦、找條紋、掃面等操作。
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表面輪廓光學(xué)測量?jì)x可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。